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本文介绍了ＭＭＳＴ设备控制体系的组成结构，开发出的这一体系可以快速装备到目前所使用的硅片制造设备中，同时还考虑了完全倒置的设备控制软件的应用。ＭＭＳＴ设备控制体系是为适应目前尚在半导体设备制造商开发之中的下一代真空处理集群设备所需要而特别设计的。它为设备用户提供了基于窗口的图形控制面板。
MMST设备控制的体系和概述
【摘 要】
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本文介绍了ＭＭＳＴ设备控制体系的组成结构，开发出的这一体系可以快速装备到目前所使用的硅片制造设备中，同时还考虑了完全倒置的设备控制软件的应用。ＭＭＳＴ设备控制体系是为适应目前尚在半
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年3期
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