尺蠖型压电直线驱动器的动态特性

• 作 者: 赵宏伟 吴博达 华顺明 杨志刚 程光明 曲兴田
• 机 构: 吉林大学机械科学与工程学院
• 出 处: 光学精密工程
• 发表日期: 2007年6期
• 关键词: 压电驱动器 尺蠖运动 精密定位 直线运动 动态特性 piezoelectric actuator inchworm motion precision posit
• 基金项目: 国家“863’’计划资助项目（No.2002AA423150）,国家自然科学基金资助项目（No.50475010）,高等学校博士点专项科研基金资助项目（No.20050183020）

分析了尺蠖型压电直线驱动器的结构原理，建立了驱动器系统动力学模型。对驱动器定子进行了模态分析，并对分析结果进行了评价。对设计开发的驱动器样机输出特性进行了试验测试，实验测得驱动器单步输出位移稳定可靠，100V驱动电压下，单步输出位移为9．8μm。对驱动器直线动子的速度、加速度特性进行了测试，依据速度、加速度信号进一步分析了驱动器的动态响应特性。实验结果表明，所开发的驱动器具有动态特性好、运动稳定等优点。