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介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况,着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF-MEMS、MOEMS、微仪器和微/纳卫星的研究与进展情况.
空间微机电系统的研究与进展
【摘 要】
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介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况,着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF-MEMS、MOEMS、微仪器和微/纳卫星的研究与进展情况.
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2002年4期
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