【摘 要】
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本文用真空镀锡膜、氧化和化学浸渍技术研制了稀土氧化物的Ｓｎｏ＿２膜气敏元件，并测试了薄膜的气敏特性。掺杂元件改善了对乙醇、丙酮蒸气的灵敏度和选择性，而对苯、丁烷、液化石油气、
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本文用真空镀锡膜、氧化和化学浸渍技术研制了稀土氧化物的Ｓｎｏ＿２膜气敏元件，并测试了薄膜的气敏特性。掺杂元件改善了对乙醇、丙酮蒸气的灵敏度和选择性，而对苯、丁烷、液化石油气、ＮＨ＿３、Ｈ＿２和煤气等不敏感。
In this paper, a SnO_2 film gas sensor with rare earth oxides was developed by vacuum tin plating, oxidation and chemical impregnation techniques. The gas sensing properties of the films were tested. Doped elements improve the sensitivity and selectivity to ethanol and acetone vapor, but are not sensitive to benzene, butane, liquefied petroleum gas, NH 3, H 2 and gas.
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