小型Si(Li)β辐射探测器的制造

• 作 者: 郭昭乔 李月宣 俞嗣皎 蒋瑞娟 宁阳保
• 机 构: 中国科学院原子能研究所rrrrrrrrn,中国科学院原子能研究所rrrrrrrrn,中国科学院原子能研究所rrrrrrrrn,中国科学院原子能研究
• 出 处: 核电子学与探测技术
• 发表日期: 1983年05期
• 关键词: 中子嬗变掺杂 辐射探测器 Li Si 中子通量 分布测量 电阻率值 均匀性 测量系统 半导体探测器

本文主要叙述中子嬗变掺杂(NTD)单晶硅中~(31)P分布测量使用的小型Si(Li)β辐射探测器的制备工艺。

This paper mainly describes the preparation of small Si (Li) β radiation detector for measuring the distribution of ~ (31) P in neutron transmutation doped (NTD) single crystal silicon.