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微机械陀螺传感器模型与接口电路的混合模拟
微机械陀螺传感器模型与接口电路的混合模拟
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lkhyuse
【摘 要】
:
根据微机械陀螺的动力学方程建立了组合微机械陀螺振动特性和电学特性的传感器等效电路模型,并通过电路模拟工具PSPICE对模型进行验证.利用该模型与接口电路的混合模拟,可以
【作 者】
:
车录锋
熊斌
黄小振
王跃林
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
微机械陀螺
传感器
接口电路
振动特性
工作性能
优化设计
micromachined gyroscope
sensor model
interfacin
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根据微机械陀螺的动力学方程建立了组合微机械陀螺振动特性和电学特性的传感器等效电路模型,并通过电路模拟工具PSPICE对模型进行验证.利用该模型与接口电路的混合模拟,可以分析陀螺整个系统的工作性能.模拟分析的结果验证了该模型可以应用于微机械陀螺接口电路的设计和优化.
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