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报道了采用GSMBE方法研制的In0.53Ga0.47As PIN光电探测器，器件结构中引入了宽禁带InP窗口层和聚酰亚胺钝化工艺，减小了暗电流，提高了器件性能。在反向偏压为5V时器件的暗电流为640pA，反向偏压为10V时测得器件的上升时间为37.2ps，下降时间为30.45ps，半高宽为43.9ps。对影响探测器暗电流的因素和提高响应速度的途径进行了讨论。