【摘 要】
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分别在InP、GaAs和Si中以7×10~(14)和1×10~(15)cm~(-2)的剂量进行Er离子注入,并采用闭管、快速和炉退火等热处理。低温光致发光(PL)、反射式高能电子衍射(RHEED)和卢瑟福背
【机 构】
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北京大学物理系,北京大学物理系,北京大学物理系,北京大学物理系,集成光电子学联合实验室,集成光电子学联合实验室,北京中关村地区测试分析中心,北京中关村地区测试分析中心,北京中关村地区测试分析中心 北京
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分别在InP、GaAs和Si中以7×10~(14)和1×10~(15)cm~(-2)的剂量进行Er离子注入,并采用闭管、快速和炉退火等热处理。低温光致发光(PL)、反射式高能电子衍射(RHEED)和卢瑟福背散射(RBS)实验研究表明,上述样品中Er~(3+)离子特征发光的中心波长均出现在1.54μm处,其中InP的发光峰最强,而注入损伤的恢复是影响Er~(3+)发光的重要因素之一。RBS分析进一步证实退火后Er原子在Si中向表面迁移,而在InP中的外扩散较小,并比较了Er在InP和Si晶格中的占位情况。
Er ions were implanted at 7 × 10 ~ (14) and 1 × 10 ~ (15) cm ~ (-2) respectively in InP, GaAs and Si, and were annealed by closed tube, rapid annealing and furnace annealing. The experimental results of low temperature photoluminescence (PL), reflection high energy electron diffraction (RHEED) and Rutherford backscattering (RBS) show that all the central wavelengths of the characteristic luminescence of Er ~ (3+) ions appear at 1.54μm , Of which InP has the strongest luminescence peak, and the recovery of implantation damage is one of the important factors that affect the luminescence of Er ~ (3+). RBS analysis further confirmed that Er atoms migrated to the surface in Si after annealing and out-diffused in InP, and compared the Er occupancy in the InP and Si lattices.
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