【摘 要】
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本文重点阐述图象数据处理和误差修正的方法。由于采用用图象边缘判定,拟合计算,误差修正,使分辨率有较大的提高,实测可达5/μm以下,系统精度大大提高。
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【机 构】
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天津大学,天津大学,天津大学,天津大学,
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本文重点阐述图象数据处理和误差修正的方法。由于采用用图象边缘判定,拟合计算,误差修正,使分辨率有较大的提高,实测可达5/μm以下,系统精度大大提高。
This article focuses on image data processing and error correction methods. As a result of using the image edge to determine, fitting calculations, error correction, the resolution has greatly improved, the measured up to 5 / μm below the system accuracy greatly improved.
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