Optical　Noninvasive　Diagnostic　of　Semiconductor　Devices　by　Using　Laser　Beam　Probe

来源 :Semiconductor Photonics and Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：dangerererer

【摘要】

：

ＯｐｔｉｃａｌＮｏｎｉｎｖａｓｉｖｅＤｉａｇｎｏｓｔｉｃｏｆＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＤｅｖｉｃｅｓｂｙＵｓｉｎｇＬａｓｅｒＢｅａｍＰｒｏｂｅ￥ＪＩＡＮＧＪｉａｎｐｉｎｇ；ＺＨＯＵＭｉｎｋａｎｇ；ＳＵＮＣｈｅｎｇｃｈｅｎｇ；ＨＥＳｈｕｆａｎｇ；ＸＥＺ... OpticalNoninvasiveDiagnosticofSemiconductorDevicesbyUsingLaserBeamProbe ¥ JIANGJianping; ZHOUMinkang; SUNChengcheng; HEShufan

【出处】

：

Semiconductor Photonics and Technology

【发表日期】

：

1996年01期

【关键词】

：

Probe Devices Diagnostic Laser Noninvasive Optical Beam Semiconductor Using by

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