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,Degradation mechanism of enhancement-mode AlGaN/GaN HEMTs using fluorine ion implantation under the
【机 构】
：
School of Microelectronics, Xidian University, Xi’an 710071, China“,”Key Laboratory of Wide Band-Gap
【出 处】
：
中国物理B（英文版）
【发表日期】
：
2015年1期
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