避免超硬nc-（Al（1-x）Tix）N/a-Si3N4纳米复合材料制成的（Al（1-x）Tix）N涂层的高温分解

• 作 者: 胡汝骞 丰振东
• 机 构: 南华大学机械工程学院
• 出 处: 机械工程师
• 发表日期: 2017年2期
• 关键词: 超硬纳米复合材料 (AlTi)N 热稳定性 旋节线分解

大约单层薄的非晶态氮化硅的组织,是在nc-（Al（1-x）Tix）N/a-Si3N4超硬纳米复合涂层沉积过程中形成的,具有良好的结构与硬度。在温度低于1100℃时,能有效地避免fcc-（Al（1-x）Tix）亚稳溶液的分解和软化,形成富钛fcc（Ti（1-δ）Alδ）N纤锌矿型h-（A l N）。如果没有氮化硅涂层,（Al（1-x）Tix）N的软化和分解将会发生在800-900℃之间。