【摘 要】
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本文以三种国外的LP—MOVPE(低压—金属有机物气相外延)设备为例,介绍了LP—MOVPE设备的工作原理,并对设备各个部分的构成及其功能作了详细的分析,在此基础上对三种设备的性
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所微电子学分部,中国科学院上海冶金研究所微电子学分部,中国科学院上海冶金研究所微电子学分部 上海 200233,上海 200233,上海 200233
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本文以三种国外的LP—MOVPE(低压—金属有机物气相外延)设备为例,介绍了LP—MOVPE设备的工作原理,并对设备各个部分的构成及其功能作了详细的分析,在此基础上对三种设备的性能及其特点进行了讨论与比较。
In this paper, three kinds of foreign LP-MOVPE (low pressure - metal organic vapor phase epitaxy) equipment, for example, introduced the working principle of the LP-MOVPE equipment, and the composition of each part of the device and its functions were analyzed in detail, based on this On the three kinds of equipment performance and its characteristics were discussed and compared.
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