【摘 要】
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随着社会的发展,人们对材料的需求越来越大,并且对其性能的要求越来越高,尤其对于一些大型机械设备,由于长时间的工作,设备的老化以及机械零件的磨损是不可避免的,这样就可能
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随着社会的发展,人们对材料的需求越来越大,并且对其性能的要求越来越高,尤其对于一些大型机械设备,由于长时间的工作,设备的老化以及机械零件的磨损是不可避免的,这样就可能增加维护的费用和生产的成本。那么,如何提高设备的使用寿命,减小设备之间的磨损就成为一个重要的课题。本文主要通过物理沉积方法（射频磁控溅射）来制备一种硬质薄膜（BCN）,通过选择合适的靶材（碳靶）和通入理想的气体（甲烷和氮气）进行实验,通过XRD衍射,台阶仪以及原子力显微镜对薄膜进行表征分析其薄膜的质量。
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