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概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用，简单介绍了光路准直对线性测长的影响。依据激光干涉仪的准直测量原理，详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法。
激光干涉仪线性测长的准直调节方法
【摘 要】
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概述了激光干涉仪在半导体工艺设备精度分析领域的应用，简单介绍了光路准直对线性测长的影响。依据激光干涉仪的准直测量原理，详细介绍了激光干涉仪准直的调节方法。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年1期
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