【摘 要】
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利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒。研究了不同反应气体流量条件下 ,纳米硅微结构的转变规律 ,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制。研究表明 ,在激光功率密度恒定条
【机 构】
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中国海洋大学材料科学与工程学院,中国海洋大学材料科学与工程学院,山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室,工程陶瓷山东省重点实验室,山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室,工程陶瓷山东省
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利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒。研究了不同反应气体流量条件下 ,纳米硅微结构的转变规律 ,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制。研究表明 ,在激光功率密度恒定条件下 ,随着反应气体流量的增加 ,所制备纳米硅颗粒的尺寸逐渐变小 ,微结构中非晶态比例随反应气流的增加而增加。
Nanosilica particles were prepared by LICVD. The changing rules of the microstructure of nanosilica under different reaction gas flow rates were studied, and the influence mechanism of preparation parameters on the microstructure of nanosilica was analyzed. The results show that with the increase of reaction gas flow rate, the size of the prepared nano-Si particles becomes smaller under the condition of constant laser power density, and the proportion of amorphous phase in the microstructure increases with the increase of reaction gas flow.
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