YBCO-SrTiO3-YBCO多层薄膜超导线圈

来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qnmdmn

【摘要】

：

采用射频磁控溅射在（100）SrTiO3衬底上生长了 YBCO-SrTiO3-YBCO 多层薄膜,并结合氩离子束刻蚀技术加工了线条宽10μm 共9匝的多层结构超导线圈,研究了总

【作者】

：

刘让蛟曾祥辉王世光戴远东

【机构】

：

北京大学物理系,北京大学物理系北京,100871,北京,100871

【出处】

：

低温物理学报

【发表日期】

：

1992年5期

【关键词】

：

YBCO 超导线圈多层薄膜离子束刻蚀多层结构临界电流密度射频磁控溅射超导薄膜线圈结构超导器件

【基金项目】

：

国家教委优秀青年教师基金,霍英东基金,国家超导研究与发展中心的资助

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采用射频磁控溅射在（100）SrTiO3衬底上生长了 YBCO-SrTiO3-YBCO 多层薄膜,并结合氩离子束刻蚀技术加工了线条宽10μm 共9匝的多层结构超导线圈,研究了总长约9.4mm宽10μm YBCO 线条的超导连通及超导连接和超导线条绝缘跨接的情况.线圈超导连通 Tc为82K,在77K 的 Jc 为5.4

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