【摘 要】
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本文首先介绍了纳米压痕系统的结构及原理，然后着重对其控制系统进行分析，研究了控制参数的设置方法，分析了系统的稳定性，给出了仿真结果，最后，分析了执行元件存在的误差，并给出了消
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本文首先介绍了纳米压痕系统的结构及原理，然后着重对其控制系统进行分析，研究了控制参数的设置方法，分析了系统的稳定性，给出了仿真结果，最后，分析了执行元件存在的误差，并给出了消除误差的方法。
In this paper, the structure and principle of nanoindentation system are introduced firstly. Then the control system is analyzed emphatically. The setting method of control parameters is studied. The stability of the system is analyzed. The simulation results are given. Finally, Error, and gives the method to eliminate the error.
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