【摘 要】
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采用氧等离子体辅助脉冲激光沉积方法（PLD）在硅衬底上,制备出高度（001）取向的钙钛矿相结构钛铌镁酸铅（PMN-PT）薄膜.研究了氧等离子体辅助对PMN-PT薄膜相结构、微观形貌和电学性能的
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,中国科学院研究生院
【基金项目】
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National Basic Research Program of China（973 Program）（2009CB623304）, National Natural Science Foundation of China（11090332）
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采用氧等离子体辅助脉冲激光沉积方法（PLD）在硅衬底上,制备出高度（001）取向的钙钛矿相结构钛铌镁酸铅（PMN-PT）薄膜.研究了氧等离子体辅助对PMN-PT薄膜相结构、微观形貌和电学性能的影响.结果表明,通过在薄膜沉积过程中引入高活性的氧等离子,可以有效地提高PMN-PT薄膜的结晶质量和微观结构.未采用氧等离子体辅助PLD方法制备PMN-PT薄膜的介电常数（10 kHz）和剩余极化（2Pr）分别为1484和18μC/cm2,通过采用氧等离子体辅助,其介电常数和剩余极化分别提高至3012和38μC/cm
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