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YBCO大面积超导薄膜沉积工艺与微结构研究
YBCO大面积超导薄膜沉积工艺与微结构研究
来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:louisvu
【摘 要】
:
采用中空柱状阴极直流磁控溅射方法制备了大面积YBCO超导薄膜。应用XRD方法,对在30×30mm^2LaAlO3衬底上沉积的YBCO薄膜进行了结晶完整性、均匀性的测定。对同一样品,使用透射电子显微镜对薄膜和衬底
【作 者】
:
王小平
郝建民
【机 构】
:
北京有色金属研究总院,电子工业部第四十六所
【出 处】
:
低温物理学报
【发表日期】
:
1999年6期
【关键词】
:
超导薄膜
沉积
微结构
衬底
结晶
【基金项目】
:
国家超导研究与开发中心资助
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采用中空柱状阴极直流磁控溅射方法制备了大面积YBCO超导薄膜。应用XRD方法,对在30×30mm^2LaAlO3衬底上沉积的YBCO薄膜进行了结晶完整性、均匀性的测定。对同一样品,使用透射电子显微镜对薄膜和衬底间的界面进行了研究。
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