【摘 要】
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一、前言随着近年来薄膜制造技术的发展,有许多种薄膜得到应用,但对其机械性能的评价尚无统一而有效的方法。为了研究通过测定在超低负荷下的压入硬度来间接显示薄膜强度的
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一、前言随着近年来薄膜制造技术的发展,有许多种薄膜得到应用,但对其机械性能的评价尚无统一而有效的方法。为了研究通过测定在超低负荷下的压入硬度来间接显示薄膜强度的方法。研制了一种新型的硬度试验机,采用电磁力加菏的设计方案,最小负荷为9.8×10~(-5)N
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