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对国内外在高氮压下制备氮化硅粉末和反应烧结氮化硅(RBSN)进行评述,较详细地介绍该工艺的发展概况。认为:硅的高压氮化工艺是一种高效、节能的工艺方法,它能制造高纯产品。
硅的高压氮化
【摘 要】
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对国内外在高氮压下制备氮化硅粉末和反应烧结氮化硅(RBSN)进行评述,较详细地介绍该工艺的发展概况。认为:硅的高压氮化工艺是一种高效、节能的工艺方法,它能制造高纯产品。
【机 构】
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上海硅酸盐研究所,上海硅酸盐研究所
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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1990年2期
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