【摘 要】
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FB—4080型聚焦离子束加工观察装置是适于64M DRAM以上高集成器件故障分析的聚焦离子束(FIB)装置。要形成平滑的器件截面,必须用非常细的光束,而且要提高加工位置精度必须进
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FB—4080型聚焦离子束加工观察装置是适于64M DRAM以上高集成器件故障分析的聚焦离子束(FIB)装置。要形成平滑的器件截面,必须用非常细的光束,而且要提高加工位置精度必须进行高速加工。这两个基本性能和8英寸基片载物台、自动加工技术
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