【摘 要】
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本发明提供一种红外探测器,它包括一个列阵,列阵中的每个像元都有一个微桥结构。在上述微桥结构中有一片与衬底隔开的膜片,它是由一种横梁结构支撑的。每个像元还有一个真空
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本发明提供一种红外探测器,它包括一个列阵,列阵中的每个像元都有一个微桥结构。在上述微桥结构中有一片与衬底隔开的膜片,它是由一种横梁结构支撑的。每个像元还有一个真空封装结构,该真空封装结构内有一层窗口薄膜,这是用来封闭由于去除膜片中的第
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