【摘 要】
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ＭＥＭＳ技术已有２０年历史，是由复杂的机械与微尺寸图形组成的先进微机电技术。从２０世纪８０年代初开始，ＭＥＭＳ已经开发出从计算机控制杆到汽车气囊传感器和投影显示等多种类产品。今天，由于ＭＥＭＳ工艺技术、
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ＭＥＭＳ技术已有２０年历史，是由复杂的机械与微尺寸图形组成的先进微机电技术。从２０世纪８０年代初开始，ＭＥＭＳ已经开发出从计算机控制杆到汽车气囊传感器和投影显示等多种类产品。今天，由于ＭＥＭＳ工艺技术、元件之间的互连技术、设计技术等的开发、成熟，数十亿美
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