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为提高硬磁盘基片平面研磨的加工品质，利用计算机仿真对其研磨盘的修盘工艺进行运动学模拟，通过统计修盘器磨片相对研磨盘所划出的轨迹分布，提出了轨迹密度的概念，通过实验证明，轨迹密度可以表征修盘后研磨盘的大致形貌。通过对修盘转速配比和修盘器结构的优化，实现了均匀的轨迹密度分布。
硬磁盘基片研磨中修盘工艺磨削轨迹分析及优化
【摘 要】
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为提高硬磁盘基片平面研磨的加工品质，利用计算机仿真对其研磨盘的修盘工艺进行运动学模拟，通过统计修盘器磨片相对研磨盘所划出的轨迹分布，提出了轨迹密度的概念，通过实验证明，轨
【机 构】
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深圳开发磁记录股份有限公司
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2009年2期
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