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以原子力显微镜（ＡＦＭ）作为加工工具对单晶硅进行了基于金刚石针尖的纳米加工试验，运用不同的方法对纳米加工区域的特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征进行了系统的研究和分析，提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的新方法。在此基础上，应用有限元法对ＡＦＭ纳米加工中存在于金刚石针尖和被加工材料之间的接触作用机制进行了计算仿真。