【摘 要】
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为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的
【机 构】
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华中科技大学光电系,华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室,华中科技大学光电系 湖北武汉 430074,湖北武汉 430074 ,湖北武汉 430074
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为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填充因子。
In order to improve the detection sensitivity of visible CCD image sensor, a design method of 516 × 516 element quartz microlens array is proposed, and its fabrication technology is briefly introduced. The measurement results show that the fabricated microlens array has excellent surface profile, good geometrical uniformity and optical performance, which greatly improves the fill factor of the CCD image sensor.
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