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电磁六极透镜极分布的边缘效应
电磁六极透镜极分布的边缘效应
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liushanxue
【摘 要】
:
电磁六极透镜场分布的边缘效应木崇俊窦菊英陈尔纲(云南大学物理系,昆明650091)电子显微镜发展到现在,分辨率的提高受到电子透镜球差的严重限制。矫正球差成为电镜发展中亟待解决的问题
【作 者】
:
木崇俊
窦菊英
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1996年6期
【关键词】
:
电磁六极透镜
场分布
边缘效启
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电磁六极透镜场分布的边缘效应木崇俊窦菊英陈尔纲(云南大学物理系,昆明650091)电子显微镜发展到现在,分辨率的提高受到电子透镜球差的严重限制。矫正球差成为电镜发展中亟待解决的问题,对矫正球差已有几种方案,其中用电磁六极透镜系统矫正球差是比较可行的方...
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