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介绍了全自动反应离子腐蚀３英寸ＧａＡｓ片的实验研究工作，实验获得良好结果，均匀性约５％，２０分钟腐蚀深度为２０μｍ。
全自动反应离子腐蚀3英寸GaAs片实验研究
【摘 要】
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介绍了全自动反应离子腐蚀３英寸ＧａＡｓ片的实验研究工作，实验获得良好结果，均匀性约５％，２０分钟腐蚀深度为２０μｍ。
【机 构】
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电子部第13研究所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1996年6期
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