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研究了CVD金刚石剥离后基底渗铬层的表面形态以及金刚石的背面形貌.结果发现,以渗铬层为基底在600～900℃之间进行CVD金刚石薄膜沉积后,渗铬层的铬碳化合物层和铬扩散层的厚度都增加了;白亮层的铬浓度比沉积前低;渗铬层硬度梯度因铬的扩散而变得比金刚石沉积前更平缓.
CVD金刚石膜剥离后基底渗铬层的表面形态
【摘 要】
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研究了CVD金刚石剥离后基底渗铬层的表面形态以及金刚石的背面形貌.结果发现,以渗铬层为基底在600～900℃之间进行CVD金刚石薄膜沉积后,渗铬层的铬碳化合物层和铬扩散层的厚度
【机 构】
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韶关学院,华南理工大学
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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2004年8期
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