激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响

• 作 者: 杨修春 DUBIEL M HOFMEISTER H RIEH
• 机 构: 同济大学材料科学与工程学院,DepartmentofPhysics,MaxPlanckInstituteofMicrostructurePhysics,DepartmentofMaterialsSci
• 出 处: 无机材料学报
• 发表日期: 2006年3期
• 关键词: 激光刻蚀 Al2O3-ZrO2固溶度 结晶度 无序度 laser ablation Al2O3-ZrO2 solubility crystallizabil

利用X射线衍射，X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响．结果表明，Al2O3在ZrO2中的固溶度越大，ZrO2晶体结构无序度越大．样品室的空气压力越大，粉体中无定形相的含量越大．无定形ZrO2中存在短程有序-长程无序结构Zr-O-Zr（Al）．同Al2O3-ZrO2固溶体相比，无定形ZrO2具有更短的Zr-O和Zr-Zr（Al）原子间距离和更大的无序度．