Mn+离子注入GaAs的铁磁性质和结构

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maldininikanjun
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报道 Mn+ 离子注入 ( 0 0 1 ) Ga As后经快速退火形成的亚微米铁磁晶粒的性质和结构特性 .磁化强度测量结果显示室温下具有铁磁性 .用透射电子显微镜、X射线能谱和电子衍射分析表明除形成 Mn Ga晶粒外 ,还有含少量 Ga的 Mn As晶粒 .原子力显微镜和磁力显微镜的结果表明在 750— 90 0℃下退火形成的铁磁颗粒以单畴为主 The properties and structural properties of submicron ferromagnetic grains formed by rapid annealing after Mn + ion implantation (0 0 1) Ga As are reported.The results of magnetization show that ferromagnetism exists at room temperature.Using transmission electron microscopy, energy dispersive X-ray spectroscopy and Electron diffraction analysis shows that in addition to the formation of Mn Ga grains, there is also a small amount of Ga-containing Mn As grains.The results of atomic force microscopy and magnetic force microscopy show that the ferromagnetic particles formed at 750-90 ° C annealed to monodominant
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