【摘 要】
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在粘有吸附剂、温度处于10～20K的二级致冷式低温泵中,第二级冷头的温度变化所引起的抽气特性的改变,目前尚未得到充分的认识和研究.作者通过改变第二级冷头的温度来分析系中的
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在粘有吸附剂、温度处于10～20K的二级致冷式低温泵中,第二级冷头的温度变化所引起的抽气特性的改变,目前尚未得到充分的认识和研究.作者通过改变第二级冷头的温度来分析系中的残余气体谱峰,从而了解和分析不同温度下某些气体的抽气情况和规律,得到了满意
In the second adsorbent, the temperature is 10 ~ 20K in the second-stage cryogenic pump, the second-stage cold head temperature changes caused by changes in the suction characteristics, has not yet been fully recognized and studied by the author to change The temperature of the second stage cold head to analyze the residual gas peaks in the system, so as to understand and analyze the evacuation conditions and laws of some gases at different temperatures, and is satisfied
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