高功率准分子激光MOPA系统中的三路激光准直技术研究

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meng010
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光束自动准直是大型激光装置中的重要组成部分。以准分子(XeCl)激光主振荡功率放大(MOPA)系统中一个典型的像传递单元为例,着重介绍了准直基准的建立、3路激光自动准直的原理、电荷耦合元件(CCD)图像采集与分析处理。通过实验验证,该准直单元准直效率高,准直精度能够满足MPOA系统的光束准直要求。 Automatic beam alignment is an important part of a large laser device. Taking a typical image transfer unit in the MOPA system of an XeCl laser as an example, the establishment of collimation datum, the principle of 3-channel laser auto-collimator, the charge-coupled device (CCD) image Acquisition and analysis. The experimental results show that the collimation unit has high collimation efficiency and the collimation accuracy can meet the beam collimation requirements of the MPOA system.
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