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在室温情况下，研究了MIS结构电容器的湿敏特性。用交流串联电路，测量其电流与相对湿度和频率的依赖关系，实验结果表明：此结构有良好的感湿灵敏度和短的响应时间。其中相对湿度从12％变化到98％时，在较宽频率范围（10^2～10^5Hz）内，元件的电流有较大的变化。还对器件的物理模型进行了分析。
MIS结构电容器的湿敏特性研究
【摘 要】
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在室温情况下，研究了MIS结构电容器的湿敏特性。用交流串联电路，测量其电流与相对湿度和频率的依赖关系，实验结果表明：此结构有良好的感湿灵敏度和短的响应时间。其中相对湿度从1
【机 构】
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佛山大学机电与信息工程学院
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2006年7期
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