【摘 要】
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在硅片加工过程中，大部分时间硅片是放在花兰及传片盒内的。如果花兰维护不当，会对成品率产生相当大的负作用。不过，大部分半导体厂家对周转硅片用品（花兰、传片盒等）很少引起重视
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在硅片加工过程中，大部分时间硅片是放在花兰及传片盒内的。如果花兰维护不当，会对成品率产生相当大的负作用。不过，大部分半导体厂家对周转硅片用品（花兰、传片盒等）很少引起重视。不恰当的处理会导致：a）加速花兰表面磨损，在硅片表面产生很多颗粒，b）花兰发生畸变，
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