Calibration　of　the　Width　of　Micro－Step　with　Two－Mode　Laser　Heterodyne　Interferometer

来源 :Journal of Harbin Institute of Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhangtingzhi2009

【摘要】

：

ＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎｏｆｔｈｅＷｉｄｔｈｏｆＭｉｃｒｏ－ＳｔｅｐｗｉｔｈＴｗｏ－ＭｏｄｅＬａｓｅｒＨｅｔｅｒｏｄｙｎｅＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ￥（赵慧洁）（李鹏生）（强锡富）（张琢）ＺＨＡＯＨｕｉｊｉｅ；ＬＩＰｅｎｇｓｈｅｎｇ；ＱＩＡＮＧＸｉｆ... CalibrationoftheWidthofMicro-StepwithTwo-ModeLaserHeterodyneInterferometer ¥ (Zhao Hui Jie) (Li Pengsheng) (Qiang Xifu) (Zhan

【作者】

：

赵慧洁李鹏生强锡富张琢

【出处】

：

Journal of Harbin Institute of Technology

【发表日期】

：

1994年02期

【关键词】

：

ss: HETERODYNE INTERFEROMETER GAUSSIAN distribution least square WIDTH CALIBRATI

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