【摘 要】
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本文介绍了使用电子显微镜检测槽形光栅的两种实验方法:平面法和断面法,並对比进行评价。
In this paper, two experimental methods for detecting grooved gratings using
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本文介绍了使用电子显微镜检测槽形光栅的两种实验方法:平面法和断面法,並对比进行评价。
In this paper, two experimental methods for detecting grooved gratings using electron microscopy are introduced: the planar method and the cross-sectional method, and the comparison is evaluated.
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