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评述了采用电调整微蚀刻试验表明，它适用于各种各样的线宽和间距的精细导线的制造。比起常规喷射蚀刻工艺来，其侧蚀小、蚀刻因子和tanθ高的效果。
电调整微蚀刻
【摘 要】
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评述了采用电调整微蚀刻试验表明，它适用于各种各样的线宽和间距的精细导线的制造。比起常规喷射蚀刻工艺来，其侧蚀小、蚀刻因子和tanθ高的效果。
【出 处】
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印制电路信息
【发表日期】
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2006年8期
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