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期刊论文
一种UVA型光产酸剂
一种UVA型光产酸剂
来源 :广东化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:c1074527
【摘 要】
:
本文合成了一种以硫杂蒽酮为基核的光产酸剂,该光产酸剂对UVA段紫外光敏感,光解可以产生超强酸,且在365、385、395 nm LED光源下具有良好的光产酸效率,光产酸量子产率Φa为0.
【作 者】
:
廖恒
【机 构】
:
广东新华粤石化集团股份公司
【出 处】
:
广东化工
【发表日期】
:
2021年8期
【关键词】
:
光产酸剂
UVA
超强酸
光致抗蚀剂
LED
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本文合成了一种以硫杂蒽酮为基核的光产酸剂,该光产酸剂对UVA段紫外光敏感,光解可以产生超强酸,且在365、385、395 nm LED光源下具有良好的光产酸效率,光产酸量子产率Φa为0.10~0.11。
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