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本文采用直流溅射法制备了具有一定调制波长的金属多层膜,通过X衍射实验和电镜扫描实验,对其性能进行了测试,并对实验中出现的在特定调制周期时衍射峰完全消失和Al的衍射峰不出现的现象进行了理论探讨。
Al/Pb纳米多层膜的性能研究
【摘 要】
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本文采用直流溅射法制备了具有一定调制波长的金属多层膜,通过X衍射实验和电镜扫描实验,对其性能进行了测试,并对实验中出现的在特定调制周期时衍射峰完全消失和Al的衍射峰不
【机 构】
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云南省曲靖师范学院物理与电子工程学院,昆明理工大学新材料制备与加工重点实验室
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2009年15期
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