【摘 要】
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从微电子、超净材料及微纳加工工艺对环境要求出发,通过对工业超洁净环境设计所涉及到的超洁净度空气的获取与保持、超净室系统设计、超洁净室关键技术等的研究,构建了工业超
【机 构】
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江苏天衡工程咨询管理有限公司苏州公司,苏州大学机电学院,苏州市职业大学机电学院
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从微电子、超净材料及微纳加工工艺对环境要求出发,通过对工业超洁净环境设计所涉及到的超洁净度空气的获取与保持、超净室系统设计、超洁净室关键技术等的研究,构建了工业超洁净环境层流条件和洁净度计算力学模型,并对工业超洁净环境设计中洁净室分子级空气污染(AMC)的处理、各级过滤器参数选择、新风温湿度调节等关键技术进行了较为深入的探讨,为微电子、超净材料及微纳加工等工业超洁净环境设计提供了理论基础。
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