【摘 要】
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在铜化学机械抛光(CMP)中,双氧水易分解的不稳定性严重制约铜化学机械抛光速率。为了寻求一种稳定性好且氧化能力强的新型氧化液,采用电化学方法电解水基硫酸盐,得到了氧化性
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在铜化学机械抛光(CMP)中,双氧水易分解的不稳定性严重制约铜化学机械抛光速率。为了寻求一种稳定性好且氧化能力强的新型氧化液,采用电化学方法电解水基硫酸盐,得到了氧化性很强且稳定的过氧焦硫酸盐氧化液。采用自制的氧化液配制抛光液进行铜CMP实验,分别改变氧化液、硅溶胶磨料和螯合剂的浓度,分析了各组分的作用,得到了抛光液的优化配比,获得了较高的去除速率和较低的表面粗糙度。抛光速率达889.44 nm/min,粗糙度达6.3 nm,满足工业应用要求。
In copper chemical mechanical polishing (CMP), the instability of easily decomposed hydrogen peroxide severely restricts the copper chemical mechanical polishing rate. In order to find a new type of oxidizing solution with good stability and strong oxidizing ability, electrochemical oxidation of water-based sulfate was carried out to obtain a highly oxidizing and stable peroxodisulfate oxidation solution. The copper CMP experiment was carried out by using the prepared slurry of the oxidizing solution. The concentration of the oxidizing solution, the silica sol abrasive and the chelating agent was changed respectively. The effect of each component was analyzed. The optimal ratio of the polishing solution was obtained and a high removal rate Rate and lower surface roughness. Polishing rate of 889.44 nm / min, the roughness of 6.3 nm, to meet the requirements of industrial applications.
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【摘 要】研究性学习是近几年来一直被教育部门以及学校所关注的一项学习方式。对于创造性学习和探究性学习，需要老师在引导和鼓励下提高学生思考和探究的积极性。因此教师活动在研究性学习中就起到一个连接的作用，教师引导的好坏直接关系到学生学习的质量和成果。本文拟从几个方面谈谈教师活动在研究性学习中的重要性和具体实施。 【关键词】研究性学习 教师活动 评价方案 研究性学习是近几年来一直被教育部门以及学校所
目的 观察非对称小干扰RNA(aiRNA)对膀胱癌EJ细胞泛素特异肽酶22(USP22)基因的沉默效率及特异性的影响.方法 设计并合成USP22基因的小干扰RNA(siRNA)及aiRNA,利用脂质体Translipid转染EJ细胞,采用实时荧光定量聚合酶链反应(PCR)检测转染前后EJ细胞USP22 mRNA的表达水平变化,比较USP22 siRNA与USP22 aiRNA对USP22基因沉默效
【摘 要】在课堂教学中，调动学生学习的积极性和主动性，有利于教师很好地完成教学任务，达到预期的目的，也有利于学生理解和掌握所学知识。学生对某学科产生了兴趣，在一定程度上可以调动他们学习的积极性和主动性。怎样激发高中生学习政治课的兴趣，调动学生学习的积极主动性呢？下面就简单介绍几种常用的激发学习兴趣的教学方法。 【关键词】中学思想政治 激趣方法 兴趣是最好的老师。美国心理学家皮亚杰认为：“所有智
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