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研究了衬底的Al化处理对采用MOCVD法在c面蓝宝石衬底上高温生长Al N外延层的影响机制。通过原位监测监控整个外延生长过程,同时对Al N外延层的表面形貌和晶体质量以及应变状态进行表征研究。结果表明衬底的Al化处理导致Al N外延层的表面更加平整但是晶体质量下降,同时对外延层的应变也有很明显的影响。