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【摘 要】
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在不同的W靶溅射功率下，用反应磁控溅射法在载玻片上制备了TiO2：W薄膜，并对样品进行了XRD，STS和UV-Vis分析，结果表明试样为非晶态；w靶溅射功率为30w时，带隙为2．75eV；W靶溅射功率为100W
【机 构】
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重庆大学材料科学与工程学院
【出 处】
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重庆工学院学报
【发表日期】
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2006年2期
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