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一、主要技术内容rn高性能硅外延材料“系”2000年国家级火炬计划项目“,项目编号为:00D231D6200094.rn该项目来源于”八五“攻关项目,技术所有权为信息产业部电子第十三研究所,项目使用权为河北省普兴电子材料有限公司.十三所从事半导体材料研究已有40多年的历史.”八五
高性能硅外延材料
【摘 要】
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一、主要技术内容rn高性能硅外延材料“系”2000年国家级火炬计划项目“,项目编号为:00D231D6200094.rn该项目来源于”八五“攻关项目,技术所有权为信息产业部电子第十三研究
【出 处】
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中国科技成果
【发表日期】
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2001年14期
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