【摘 要】
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研制了1台强流ECR微波离子源,离子源从直径7mm的单孔引出大于150mA的离子束(75keV),引出束流密度达390mA/cm3,质子比85%～90%,束流纹波好于3%。采用独特的微波馈入方式,彻底解
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研制了1台强流ECR微波离子源,离子源从直径7mm的单孔引出大于150mA的离子束(75keV),引出束流密度达390mA/cm3,质子比85%～90%,束流纹波好于3%。采用独特的微波馈入方式,彻底解决了二次电子回轰造成微波窗的损坏,提高了离子源寿命。离子源在75keV,110mA束流
A strong current ECR microwave ion source was developed. The ion source was used to extract ion beam (75keV) larger than 150mA from a single hole with a diameter of 7mm. The beam current density was 390mA / cm3 and the proton ratio was 85% ~ 90% Better than 3%. Adopting a unique microwave feeding method, the damage of the microwave window caused by the secondary electron return and the microwave window is completely solved, and the life of the ion source is improved. Ion source at 75keV, 110mA beam current
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