【摘 要】
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过去,从事光刻技术的专家曾多次预言光学光刻的极限,但这些预言一再被实践打破。几年前,《激光世界集锦》(《Laser Faus World》的主编Jeffrey Bairstow曾著文预测“光学光刻
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过去,从事光刻技术的专家曾多次预言光学光刻的极限,但这些预言一再被实践打破。几年前,《激光世界集锦》(《Laser Faus World》的主编Jeffrey Bairstow曾著文预测“光学光刻在生产特征尺寸小于0.5μm集成电路时已不适用,而不可避免地使用X射线光刻。”但最近,他承认了他的失误,指出:“光学光刻在半导体制造业中,离它的尽头还相距甚远。事实上,光学光刻在生产特征尺寸
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