气体渗硼的热力学分析

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本文通过热力学分析表明,在BCl_3+H_2介质中进行气体渗硼时,气氛中残留的H_2O、O_2不仅使BCl_3和B原子失去渗硼能力,加大了BCl_3的消耗,而且加剧了Fe-Cl化合物的生成,导致渗硼层孔洞增加。
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